、湿度测试仪：湿度测试仪按其原理可分为干湿球温度计、毛发温度计、电温度计等。
6、噪声测试仪：噪声测试仪它的原理是用电容式传声器将声能变为电能，再经放大器、检波器等一系列处理，给出声压值。
7、照度测试仪：常用的便携式照度计它的原理是用一种光敏元件做探头，当有光照时就会产生光电流，光线越强光电流越大，测量电流时就可测出照度。
优点：过滤效果，过滤，过滤器的过滤效率一般可达99.9%以上。
缺点：（1）当空气污染较为严重时，HEPA滤网的使用寿命会缩短，需要定期更换，增加了使用成本和维护精力；（2）普通HEPA滤网无抗作用，容易成为有害物质和有害物质滋生的温床，造成二次污染；（3）过滤阻力大，在空气净化器中使用时，需要配备高压风机，噪音较大。
2、静电过滤
利用尘粒荷电和强电场力作用原理收集颗粒物，是一种成熟的除尘过滤技术。利用电晕放电使得颗粒物携带电荷，然后借助电场力作用将带电粒子捕集在收尘极板上。
●动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中;无尘车间四周，宜设缓冲区;制造装置的出入，不要对作业产生大影响。
●有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的精制、干燥工序;生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料
●节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。的设计和设备需要很大的前期投入。那种'小处节约大处浪费'的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。
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